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EmapFPD(掩膜分析模拟工具套件)

FPD全流程解决方案概述

华大九天提供平板设计FPD的全流程解决方案,包含:

  • 电路仿真工具套件EsimFPD(EsimFPD SE、 EsimFPD ALPS、EsimFPD iWave、 EsimFPD Model)
  • 基本版图设计工具AetherFPD LE
  • 高级版图设计工具AetherFPD LEAD
  • 异形版图设计工具AetherFPD LEXP
  • 3D RC提取分析工具套件RCExplorerFPD(RCExplorerFPD Pixel、RCExplorerFPD TP、RCExplorerFPD CLC、RCExplorerFPD EXT、RCExplorerFPD VIAna等)
  • 版图验证工具套件ArgusFPD(ArgusFPD DRC、ArgusFPD LVS、ArgusFPD ERC、ArgusFPD LVL、ArgusFPD DRS、ArgusFPD PVE等)
  • 面板级版图分析工具套件EplantFPD(EplantFPD IR,EplantFPD EM,EplantFPD Debug等)
  • 掩膜分析模拟工具套件EmapFPD(EmapFPD EA,EmapFPD MRC,EmapFPD SP,EmapFPD JobFile)
  • 数据版本管理工具(dMan)

所有工具都被有机的整合在华大九天设计平台,使FPD设计流程变得高效平滑,确保设计质量,提升设计效率。
 

 

华大九天平板设计FPD全流程解决方案

EmapFPD(掩膜分析模拟工具套件)

EmapFPD工具提供Mask高级分析模拟功能,包括Exposure Analysis分析,MRC检查,Split Panel,马赛克分析以及Job File工具等。

  • EmapFPD-EA(Exposure Analysis):曝光分析工具,避免版图设计在Photo流程中出错;
  • EmapFPD-MRC(Mark Rule Check):Mark设计规则检查工具,避免版图上的Mark丢失或净空区出错,如图示2所示;
  • EmapFPD-SP(Split Panel):版图切割工具,切割Panel版图产生不同Shot的Mask版图,包含Split Panel和马赛克分析等工具;
    • Split Panel:版图切割工具。用以切割Panel版图成不同Shot的Mask版图。在Split Panel中有选项可以调用Mosaic Analysis工具。
    • Mosaic Analysis:用以在切割线周围为AA array的每个Shot分别创建随机的马赛克cells。
  • EmapFPD-Job File:Job File自动提取工具,根据用户的Excel模板自动提取缩略图,创建不会失真的矢量图并插入Excel表格中,自动提取Mark坐标,自动填写表格内容,极大提高工艺文件提取效率。


亮点:

l  支持Mark设计规则及净空区检查

l  支持切割0宽度Path

l  支持重复切割区

l  支持对Array进行切割,结果保持Hierarchy,自动创建Cells

l  支持创建IPS等异型结构的Mosaic

l  支持Mosaic和Subpixel Outline错位,可以使切割部位错开图形,提高良率

l  支持基于关键词的工艺模板技术

l  支持基于矢量图的缩略图

l  全自动根据模板提取数据,填写工艺文件
 

【产品详情】